SOLUTION

  • カートリッジ
  • 配管ヒーター

エッチング装置のガスラインと
チャンバーのデポ対策

ご相談内容
新規開発エッチング装置(半導体製造装置)のガスラインとチャンバーのデポ対策をしたい。エッチング装置のUL規格認証を取得するので、UL規格に対応したヒーターを使いたい。

POINT

  • UL規格に対応したヒーターを選定する必要がある。
  • ガスラインとヒーターとの間に最適な整合性を取る必要がある。
  • 温度制御、過昇温防止等の安全設計を行う必要がある。

PROPOSAL

COMMENT

UL規格認証取得済みの配管ヒーターとカートリッジヒーターを使うことで、エッチング装置のUL規格申請が楽になります。北米向けの輸出を多く手がけている河合電器ならではの、UL規格についての知見を提供することができました。また、複雑な形状のガスライン配管にフィットする配管ヒーターを採寸、設計した数多くの実績が活かされた案件でした。

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