SOLUTION

  • Peacott
  • カートリッジヒーター

加熱ユニットの温度分布改善のご相談

ご相談内容
「半導体関連の社内生産設備としてホットプレートの設計を行っているが、表面の温度ムラをできる限り抑えたいと考えている。希望は400℃±5℃以内。また設備の立ち上げから温度分布安定までの時間を極力短縮し、設備の省エネルギー化を実現したい。」とご相談いただきました。

POINT

  • 温度ムラを400℃±5℃以内に抑えることに加え、温度安定性が求められる。

  • 温度制御に用いる熱電対は、①ヒーター制御、②温度分布安定の目的を兼ねていることから、双方を兼ね備えた配置が必要になる。

  • 高温仕様となるため、材料の膨張なども考慮した設計が求められる。

PROPOSAL

COMMENT

今回はプレートサイズが大きく、使用温度域も高温のため、温度分布の予測が非常に難しく、難易度が高いご相談でした。そこでPeacottをカートリッジヒーターと組み合わせることで、ご希望である±5℃以内に対し、結果として±3℃を達成することができました。さらに、Peacottにより装置待機時間を約40%程度短縮することが可能になり、お客様の装置の消費電力削減効果も得られました。このように河合電器では、お客様のご要望に応じて多種多様の製品を活用して個別設計を行い、課題解決が可能です。

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