ブースターヒーター (ガス加熱用配管ヒーター)

BOOSTER HEATER

ブースターヒーターとは

河合電器のブースターヒーターは、ガス(気体)を高温に加熱する用途に特化した配管用ヒーターです。ヒーターの設定温度は最高500℃であり、全長僅か150mmという短い距離でガス(気体)を急速加熱することが可能です。

ヒーターサイズが比較的コンパクトであるため、設備との干渉リスクが少なく、配管の設計自由度を損なうことがありません。また、脱着が非常に容易であるため、既設の配管への後付けが可能であることに加え、配管設備のメンテナンス性も向上します。

用途はさまざまですが、半導体製造装置等に使用されるプロセスガスの加熱や保温には高い効果を発揮します。リボンヒーター、ジャケットヒーター、直接加熱のインラインヒーターなどをご使用またはご検討されている場合は、河合電器の特許取得品「ブースターヒーター」が新たな選択肢となります。

技術的なご相談、製作可否、お見積りなど、お気軽にお問い合わせください。

FEATURE & STRENGTH
  • 短い距離で急速加熱

    わずか150mmの距離で気体温度を 100℃上げることが可能です。

  • 着脱が容易

    手軽に取り付け・取り外すことがで きます。メンテナンス時も面倒な手 間がかからず便利です。

  • 配管工事不要

    設備の配管を傷付けることなく取り 付けができるため、配管ラインの再 設計や切断等は不要です。

  • 設備との干渉を軽減

    全長僅か150mm、最高設定温度500℃という省スペースかつパワフルな本製品を、加熱したい箇所にピンポイントで設置すれば良いため、設備との干渉リスクが軽減されます。

  • コンタミ混入リスクなし

    配管の外側から加熱するため、配管内部へのコンタミ混入リスクはありません。

  • RoHS指令10物質に対応

    RoHS指令(2011/65/EU)が禁止している、鉛、水銀、カドミウム、六価クロム、PBB、PBDE、フタル酸エステル類4物質は含有していません。(規制適応除外用途を除く)

EXAMPLE

など上記以外にもさまざまな用途に対応できます。

STRUCTURE

ブースターヒーターの発熱原理は抵抗加熱となります。抵抗加熱とは、抵抗に電流を流し、熱を発生させる方式のことを言います。抵抗で消費された電力はすべて熱に変換されるため、効率がとてもよく、電流を流すだけのシンプルな方式です。燃焼加熱のような排ガスもないため、非常にクリーンな特徴があります。

ブースターヒーターの場合、抵抗にあたるのがニクロム線です。ニクロム線に電流を流してニクロム線が発熱します。簡単に言うと、ニクロム線に電圧を加えることで、ニクロム線内部で電子とニクロム線の中にある原子がぶつかり合い、激しく振動を起こすことで熱が発生します。

  • 1熱電対

  • 2断熱材

  • 3発熱体

  • 4カバー

  • 5リード線

図のように、ニクロム線を用いた発熱体がブースターヒーターの内側に配置されており、その外側に断熱材が入っています。リード線部分に電気を流すとニクロム線が発熱し、内側の金属カバーに熱が伝わって、ブースターヒーターの内側が熱くなる仕組みです。断熱材があることで、熱を内側へ効率的に伝えます。また、熱電対が中央部に配置されており、ヒーターを安全に制御することが可能です。

取り付けは、配管の上下をブースターヒーターで挟み込むようにセットし、断熱カバーをスナップボタンで取り付けて固定するだけです。パイプの外側を覆うように取り付けるため、配管そのものを切断・加工する必要はありません。

ブースターヒーターの取り付けイメージ

①配管にセットする
②断熱カバーを取り付ける スナップボタン 断熱カバー
SPECIFICATION

ブースターヒーターは下記仕様を標準品としておりますが、
仕様に関してはぜひお気軽にお問い合わせください。

一般仕様

対応パイプ径
(対象配管)
φ9.53mm用 (3/8inch)
定格 200V 150W (208V 160W)
※その他の仕様はご相談ください。
温度制御 内蔵熱電対 (K)
耐電圧 1500V/1分間 または 1800V/1秒間
寸法 長さ 150mm
外径 ヒーター部のみ:φ27mm
断熱カバー付き:φ56mm
電力密度 4.0W/cm² (4.2W/cm²)
最高使用温度
(ヒーター設定温度)
500℃
絶縁抵抗値 100MΩ以上/冷時 DC500V
主な付属品 専用断熱カバー
対応パイプ径
(対象配管)
φ9.53mm用 (3/8inch)
定格
200V 150W (208V 160W)
※その他の仕様はご相談ください。
温度制御
内蔵熱電対 (K)
耐電圧
1500V/1分間 または 1800V/1秒間
寸法
長さ 150mm
外径 ヒーター部のみ:φ27mm
断熱カバー付き:φ56mm
電力密度
4.0W/cm² (4.2W/cm²)
最高使用温度
(ヒーター設定温度)
500℃
絶縁抵抗値
100MΩ以上/冷時 DC500V
主な付属品
専用断熱カバー

基礎データ

気体(空気)上昇温度

ヒーター昇温スピード(設定温度400℃)

※PID制御推奨

ガスラインヒーターとの加熱性能比較

試験環境
試験結果(出口エアー温度)(単位:℃)
設定温度Flow rate ガスラインヒーター ブースターヒーター
100 200 300 400 500
5L/min 47.6 82.8 108.4 143.1 176.6
10L/min 44.5 71.6 90.0 110.3 147.8
20L/min 41.6 62.5 70.2 84.7 107.0
30L/min 40.9 60.0 65.7 79.8 92.8
CAUTIONS
  • 水濡れ環境での使用は禁止

    蒸気や水がかかる環境、腐食性のある環境での使用は避けてください。

  • 使用中のリード線部への屈曲動作は禁止

    使用中のリード線部に屈曲動作を加えないでください。

  • PID制御の推奨

    ヒーターの電力密度が高いため、ヒーターの制御はPID制御を推奨しています。

  • 用途外使用は禁止

    河合電器のヒーターは、お客様のご要望に合わせて個別に設計されていますので、納入仕様書や図面に記載されている用途以外での使用は避けてください。

  • 定格電圧以外での使用は禁止

    定格電圧以外では使用しないでください。

  • 適切な使用温度の範囲

    納入仕様書や図面に記載されている使用温度を超える温度での使用は避けてください。

  • ヒーター取り外し時の安全確保

    火傷などの事故を防止するため、使用中のヒーターを取り外す場合は、まず電源を切り、ヒーターの温度が常温に下がっていることを確認してから行ってください。

  • 後加工は禁止

    製品に後加工を加えることは避けてください。予期せぬ不具合に繋がる恐れがあります。

  • 高温多湿環境での保管

    高温多湿環境で保管した場合、ヒーターの性能や寸法に影響を与える場合があります。

QUESTION
CATALOG

以下より製品カタログのPDFファイルをダウンロードしていただけます。 ※資料請求フォームよりご請求いただけるものと同一の内容です。

製品カタログ

ブースターヒーター
製品カタログ

PDF形式/4ページ
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